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每一個零件

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  • 智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱,精密充氮烘箱
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮氣烘箱
  • 熱風循環真空烘箱,高溫熱風真空烤箱
  • HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
  • 真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱
  • 精密烤膠臺,高精度烘膠機
  • 超低溫試驗箱,零下-120度高低溫箱
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半導體制造與封裝過程中無塵潔凈烘箱的應用
來源: | 作者:上海雋思無塵潔凈烘箱技術部 | 發布時間: 2024-08-16 | 1012 次瀏覽 | 分享到:

半導體制造與封裝的界限


   半導體制造與封裝,雖同為芯片生產流程中不可或缺的一環,但它們的目標與關注點截然不同。前端制造的核心在于在晶圓上精確構建出復雜的電路圖案,這一過程對潔凈度要求極高,任何微小的塵埃都可能對微小的電路結構造成極大的影響。因此,前端制造通常在高度控制的潔凈室環境中進行,確保芯片的質量。

   而封裝則聚焦于保護這些裸露的芯片,通過封裝材料為芯片提供物理支撐、環境隔離以及電氣連接。封裝不僅增強了芯片的物理強度和環境耐受性,還使得芯片能夠更容易地集成到各種電子設備中。晶圓減薄作為FEOL與BEOL的分界點,標志著制造階段的結束和封裝階段的開始。減薄后的晶圓由晶圓廠出貨給封裝廠,進一步加工成最終的產品形態。

半導體制造工藝復雜多樣,涉及多個關鍵步驟和多種技術手段。以下總結了一些主要的工藝技術。


光刻是半導體制造中最核心的工藝之一,它利用光化學反應原理將電路圖案精確地轉移到晶圓上。光刻過程包括涂膠(在晶圓表面涂覆一層光刻膠)、曝光(利用光刻機將掩模版上的圖案投影到光刻膠上)、顯影(通過化學處理去除或保留光刻膠上的特定部分)和烘烤(無塵潔凈烘箱固化光刻膠以增強其穩定性)等步驟。

無塵潔凈烘箱

潔凈度:Class100、1000     

溫度:RT+15~200/300/400℃;
氣體:N2 

計時功能:可選 

設備材質:內部SUS304不銹鋼           

工作尺寸(mm):

450×450×500

500×500×550

600×700×800

(可定制)          

網板:活動式2-5塊

運行模式:定值或程式

操作界面:按鍵或彩色觸摸屏

潔凈度:Class100、1000     

溫度:RT+15~200/300/400℃;
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計時功能:可選 

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工作尺寸(mm):

450×450×500

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(可定制)          

網板:活動式2-5塊

運行模式:定值或程式

操作界面:按鍵或彩色觸摸屏

氮氣潔凈烘箱  光刻膠無塵烘箱用途

適用于IC封裝、光刻膠堅膜固化、銀膠固化、墨點烘干、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫藥、實驗室等生產及科研.

驅趕膠中的溶劑

提高膠對襯底的黏附性

提高膠的抗腐蝕能力

優化膠的光學吸收特性

提高涂膠的均勻性

提高條寬控制能力

通過前烘,基片上的光刻膠基本固化。





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