就
是
對
待
工
作
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態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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PI/BCB固化真空無氧烘箱的操作方法
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2022-09-15
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PI/BCB固化真空無氧烘箱操作方法
開機前注意檢查，循環水是否打開（壓力足夠），氮氣閥門是否打開（壓力足夠）
1.打開設備電源開關，人機界面啟動；
2.在人機界面參數設定中編輯需求工藝；
3.返回主界面，選擇工藝序號；
4.選擇程式運行，確認運行；
5.程序運行結束，打開箱門，拿出產品
6.關閉箱門。
PI/BCB固化真空無氧烘箱適用工藝：
PI固化厭氧烤箱用于用于PI/BCB/LCP固化，半導體封裝等，也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影等。
PI/BCB固化真空無氧烘箱技術性能：
內腔尺寸：350*350*350/自定義
溫度范圍：RT+30～450℃；
溫度波動度：±1℃；
控精度：0.1℃;
氧濃度：10ppm
真空度：100pa
降溫方式：快速降溫
操作方式：人機界面，智能型一鍵運行；
內膽材料:采用 #304鏡面不銹鋼制作；
外殼材料：采用優質冷軋板噴塑；
置換氣體：氮氣；
電源：380v/50Hz，5KW；
支撐裝置：腳杯和萬向輪；
廠商品牌：雋思。
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