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     近日，來自微納制造領域的一項最新研究成果，為柔性傳感器突破高溫應用瓶頸提供了新思路。西安交通大學機械工程學院精密工程研究所的劉兆鈞博士、田邊教授、蔣莊德院士及其合作團隊首次制備出了具有良好溫度敏感性的高溫柔性溫度傳感器。相關成果發表于工程制造領域期刊《極端制造》。

傳統柔性溫度傳感器難以實現高溫無損監測

     柔性傳感器是指采用柔性材料制成的傳感器，具有良好的柔韌性、延展性，甚至可自由彎曲、折疊，而且結構形式靈活多樣，可根據測量條件的要求任意布置，能夠非常方便地對復雜表面進行檢測。

     在可穿戴方面，柔性的電子產品適合“人體不是平面”的生理特性，因此更易于測試皮膚的相關參數，其可將外界的受力或受熱情況轉換為電信號，傳遞給機器人的電腦進行信號處理，從而實時精準地監測出人體各項指標。

“柔性薄膜溫度傳感器能變形、易附著、輕薄等優點受到了研究人員的廣泛關注。”田邊說，“熱電偶式傳感器以結構簡單、動態響應快、便于集中控制等優點脫穎而出。”

結合二者優勢，熱電偶式柔性薄膜溫度傳感器應運而生。“溫度傳感器主要由兩部分組成，由兩種不同材料制成的溫度敏感層和柔性基板。溫度敏感層常由金屬以及金屬化合物組成，柔性基材則選擇已經商業化的聚二甲基硅氧烷、聚酰亞胺固化無氧烘箱等高分子聚合物材料。”田邊表示。

    實際上，柔性傳感器的優勢使其能運用到多個領域當中，除了可穿戴設備，柔性傳感器還在醫療電子、環境監測等領域顯示出很好的應用前景。然而，現有的柔性薄膜溫度傳感器受柔性襯底、溫度敏感材料等限制，難以在高溫環境場中工作，更無法實現功能化應用。“因為柔性基板的熔點通常低于400℃，在高溫環境中發生碳化后會變脆、變硬，因此，很難在高溫環境下使用現有的柔性溫度傳感器。這一點也限制了它們在航空航天、鋼鐵冶金和爆炸損傷檢測等極端環境中的應用。”田邊解釋道。

     現有的高溫溫度測量手段受限于設備尺寸大、需要破壞結構、破壞氣流場、受環境干擾等，難以實現對溫度場的無損實時溫度監測。”博士生劉兆鈞補充道。因此，如何繼承柔性薄膜傳感器的優勢，實現柔性薄膜傳感器在高溫環境下的安裝與應用是亟須解決的關鍵問題。

突破多項柔性溫度傳感器測量瓶頸

    為了突破柔性溫度傳感器的溫度測量瓶頸，田邊教授團隊創新性地選擇了具有寬溫域的鋁硅氧氣凝膠氈作為溫度傳感器的柔性基板。由于柔性基板表面不均勻、粗糙度較大，難以通過傳統的微納制造工藝實現薄膜沉積與功能化，因此團隊選用了絲網印刷技術制備厚膜以克服上述困難。

   在制備傳感器的實際操作中，田邊、劉兆鈞等人使用有機黏合劑混合功能粉末完成漿料配置，利用高溫熱處理的方法去除薄膜中的多余有機物，如環氧樹脂、松油醇等。同時，團隊還針對不同應用表面，基于柔性材料可變形、可共形的優勢，實現了功能薄膜的特定曲面化制備。“就像球鞋設計者根據球星腳底的尺寸大小來制定碼數一樣，這種‘獨家訂制’能有效解決一些問題。”田邊表示，這樣制備好的柔性溫度傳感器能夠貼附于不同曲率曲面，例如葉片等。同時，其也具有超薄、超輕等優點。這項研究首次實現柔性傳感器超低溫試驗箱在零下190℃至零上1200℃這一極廣的溫度范圍內工作，測試靈敏度也達到了可觀的226.7微伏每攝氏度（μV/℃）。這是現有所有柔性溫度傳感器難以實現的。擴大柔性傳感器的工作溫域，為柔性傳感開拓了更廣闊的應用領域，它在探險排難、航空航天、鋼鐵冶金等領域將呈現出巨大的應用潛力。