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  • 智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)
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HMDS烘箱 HMDS真空烘箱適用于芯片制造的襯底種類
來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發布時間: 2024-05-28 | 1007 次瀏覽 | 分享到:

HMDS烘箱 HMDS真空烘箱適用于芯片制造的襯底種類:

1、單晶硅片


     目前最普遍的襯底材料,廣泛用于制造集成電路(IC)、微處理器、存儲器、MEMS器件、功率器件等

2、SOI襯底

     用于高性能、低功耗的集成電路,如高頻模擬和數字電路、RF器件和電源管理芯片。

3、SiGe襯底

    SiGe ,鍺硅,是一種硅和鍺任意摩爾比的合金,分子式為 Si 1? x Ge x,常用外延的方式制作。用于異質結雙極晶體管,混合信號電路,射頻等領域

4、化合物半導體襯底

    砷化鎵襯底(GaAs ):微波和毫米波通信器件等

    氮化鎵襯底(GaN ):用于射頻功率放大器,HEMT等

    碳化硅襯底(SiC ):用于電動汽車、電源轉換器等電力器件

    磷化銦襯底(InP ):用于激光器、光探測器等


5、藍寶石襯底:用于LED制造、RFIC(射頻集成電路)等

6、鍺襯底:用于紅外光電器件等

7、LN(鈮酸鋰):用于聲表濾波器,mems等

8、LT(鉭酸鋰):用于聲表濾波器,mems等

9、玻璃基板:用于LCD、OLED、光學濾波器等

等等

HMDS烘箱 HMDS真空烘箱性能:

    容量:2-12寸晶圓、方片、碎片等

    材質:內箱采用316L醫用級不銹鋼

    工藝溫度:100-150℃

    溫度分辨率:0.1℃

    溫度波動度:≤±0.5

    真空度:≤133pa(1torr)

    操作界面:人機界面,一鍵作業

    腔內分層:2層

    HMDS控制:可控制HMDS藥液的添加量

    圖像處理:圖像反轉

    真空泵: 進口無油泵

    保護裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報&警提示,HMDS低液位報&警,超溫保護,漏電保護,過熱保護等



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