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什么是壓力傳感器呢？要回答這個問題，我們要分成兩部分。首先，什么是壓力？其次，什么是傳感器？

什么是壓強(qiáng)？

壓強(qiáng)是在垂直于物體表面的方向上施加在物體上的每單位面積的力的大小。該力通常與流體（即液體或氣體）相關(guān)。絕對壓強(qiáng)測量使用理論零壓力作為參考點，表壓測量使用大氣壓力作為參考點。

絕對壓力和表壓之間的區(qū)別是一個重要的提醒，即人類感覺的零壓力根本不是零壓力。我們一直生活在大氣壓力下，每平方英寸施加約 14.7 磅 (14.7 psi) 的力。如果從出生到死亡生活在 14.7 psi 的壓力下聽起來有點不公平，那么生活在 0 psi 的環(huán)境中會更糟糕——真正的零壓力是完美的真空，會導(dǎo)致快速死亡。

什么是傳感器？

術(shù)語“傳感器”和“變送器”經(jīng)?；Q使用。這并不奇怪，因為許多傳感器設(shè)備也是變送器，并且許多變送器也是傳感器。然而，這些詞本身就表明了細(xì)微的差別。

傳感器感測（如檢測或測量）物理量并將此信息提供給用戶。例如，水銀溫度計是一種傳感器，它允許熱量作用于物質(zhì)，以便人類可以輕松測量溫度。

傳感器不僅僅測量數(shù)量，它們還將能量從一種形式轉(zhuǎn)換為另一種形式。在大多數(shù)情況下，“輸入”能量或“輸出”能量都采用電信號的形式。麥克風(fēng)是一種換能器，因為它將聲波能量轉(zhuǎn)換為電壓信號。如今，傳感器產(chǎn)生的信號通常由模數(shù)轉(zhuǎn)換器進(jìn)行采樣，以便可以使用數(shù)字電路處理和分析信息。

數(shù)十年的創(chuàng)新催生了一系列令人印象深刻的傳感器，旨在將加速度、溫度、磁場強(qiáng)度、光強(qiáng)度和其他物理量轉(zhuǎn)換為電信號。即使我們只考慮壓力傳感器，也有多種類型。這些包括：

• 電容式

• 感應(yīng)式

• 電阻性

• 壓電式

MEMS專用HMDS烘箱簡介

光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑 HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

MEMS專用HMDS烘箱（JS-HMDS90-AI）特點：

HMDS藥液泄漏報警提示功能

HMDS低液位報警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

藥液管道預(yù)熱功能

程序鎖定保護(hù)等功能