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對
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作
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態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱
來源:
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作者:雋思半導體烘烤
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發布時間: 2018-03-09
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百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱性能
控制界面：彩色液晶觸摸屏/LED按鍵控制儀表；
運行方式：可程式運行/定值運行；
內箱材質：SUS304不銹鋼；
外箱材質：SUS304不銹鋼；
無塵等級：Class 100;
溫度范圍：RT+10～200/300/400℃；
溫度波動度：±0.5℃；
溫控精度：±0.1℃;
進氣口：φ8mmN2進氣、流量計控制;
降溫方式：風冷;
工作室尺寸：D800×W900×H900（mm）；(可指定尺寸）
網板：2-4層；
潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。
百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱特點
1.優質HEPA過濾器，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
2.全周氬焊無縫焊接，無發塵不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采用特殊的送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到最佳溫度控制精度。
百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱的應用
無塵烤箱、潔凈烘箱用于IC生產中前烘、后烘烤、堅膜、裝片機后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。主要應用范圍有電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
