就
是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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百級無塵烘箱維修與保養
來源:上海雋思
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2013-05-15
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百級無塵烘箱維修與保養主要保養項目：
項次 項目 內容 時間
01 循環電機轉向 轉向須與箭頭指示相同 機臺安裝后
02 機臺箱內 保持箱內清潔 隨機
03 機臺頂蓋通風孔 保持通風孔通暢 每月
04 電氣配電盤 保持配電盤清潔及固定螺絲牢固 每月
05 接地線 保持接地狀態 隨機
06 超溫防止器 確定溫度設定正確 隨機
07 溫度感應線 確定感應線未脫落 隨機
08 進排風管 保持風管通暢 三個月
09 送風風輪 保持風輪清潔 半年或一年
10 機臺各部螺絲 保持螺絲牢固 隨機
百級無塵烘箱維修與保養主要故障排出：
電源部分
1. 應先檢查外部電源之規格.
1. 應先檢查外部電源之規格.
2. 檢查本機之保險絲
3. 檢查變壓器是否不良
4. 檢查無熔絲開關是否不良
溫度控制部分
1. 發生溫度操作問題時，請先檢查溫度控制器之設定是否有錯誤
1. 發生溫度操作問題時，請先檢查溫度控制器之設定是否有錯誤
2. 發生不正常超溫時，請檢查超溫防止保護器(O.T.P)之設定是否錯誤，或溫度控制器AL設定錯誤。
3. 檢查電磁接觸器(MC)是否接觸不良
4. 檢查SSR是否故障
5. 檢查保險絲是否不良
