亚洲国产成人91porn_97久久精品午夜一区二区_亚洲精品国产最新在线不卡_日韩特黄一级片_国产91精_在教室伦流澡到高潮HBL原神

1.在外延片表面上涂覆光敏BCB膠，采用光刻的方法在外延片表面形成光敏BCB膠圖形；

2.采用等離子體反應(yīng)刻蝕處理外延片表面的光敏BCB膠；

3.將刻蝕后的外延片放入真空無氧烘箱中，通入N2→真空置換后，采用多級升溫保溫的方式，在規(guī)定的時(shí)間從室溫升至第一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規(guī)定的時(shí)間從第一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時(shí)間；

4.隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)（水冷和風(fēng)冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。

真空無氧烘箱簡介
     真空無氧烘箱是一種提供高溫、低氧、潔凈環(huán)境的特殊制程設(shè)備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)可充氮、真空，使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時(shí)間控制裝置，曲線升溫、恒溫、快速降溫。并附設(shè)有超溫?cái)嚅_加熱、氧含量檢測、輔助降溫裝置及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。
      真空無氧烘箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合材料預(yù)處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。