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作
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個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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HMDS Coater（HMDS 涂布機）使用范圍
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2012-05-11
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HMDS Coater（HMDS 涂布機）用途：
HMDS Coater是通過對箱體內預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS Coater（HMDS 涂布機）技術指標：
1、設備名稱 | HMDS Coater（HMDS 涂布機） |
2、設備型號 | JS-HMDS90-AI/MES |
3、設備主要技術參數 | |
3.1 尺寸（深*寬*高） | 內腔尺寸：350×350×350/450×450×450（mm）可定制 |
3.2 材質 | 外箱采用優質冷軋板噴塑，內箱采用316L醫用級不銹鋼 |
3.3 溫度使用范圍 | 80-200℃ |
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ |
3.5 溫度波動度 | ≤±0.5 |
3.6 真空度 | ≤133pa（1torr） |
3.7 潔凈度 | 設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境 |
3.8電源及總功率 | AC 220V±10% / 50HZ 總功率約3.5KW |
3.9 控制儀表 | 人機界面 |
3.10擱板層數 | 2層 |
3.11 HMDS控制 | 可控制HMDS藥液添加量 |
3.12真空泵 | 無油渦旋真空泵 |
3.13 保護裝置 | HMDS藥液泄漏報警裝置，HMDS低液位報警提示，超溫保護，漏電保護等。 |
