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一．SECS/GEM協議無塵烘箱，100級潔凈烤箱概述

   百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。設備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息進行監控和控制。

二．SECS/GEM協議無塵烘箱，100級潔凈烤箱特點

?   SECS / GEM是用于設備到主機數據通信的半導體設備接口協議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設備處理，收集測量數據，更改變量并為產品選擇配方。 SECS（SEMI設備通信標準）/ GEM（通用設備模型）標準以確定的方式完成所有這些工作。

?  在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；

? 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

? 采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

? 強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到最佳溫度控制精度。

三．SECS/GEM協議無塵烘箱，100級潔凈烤箱技術參數

1.主要技術指標

? 無塵等級：Class 100/10;     

? 溫度均勻度：±2℃;    

? 溫度波動度：±0.5℃（空載）；        

? 溫控精度：±0.1℃;

? 進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;

? 排風口： φ3”排風管（外接φ5＂法蘭）;         

? 網板：2-5層，

? 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

四．SECS/GEM協議無塵烘箱，100級潔凈烤箱常用規格