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對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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全氟辛基三氯硅烷涂膠機，抗粘劑PFTS真空烘箱
發(fā)布時間: 2021-09-26 13:42
全氟辛基三氯硅烷涂膠機，抗粘劑PFTS真空烘箱的應用領域：
在納米壓印工藝中，要求作為壓印膠的聚合物和基底材料之間能有較強的附著能力，這樣才能保證在退模過程中不會與基底脫離而導致結構被破壞;同時聚合物和模板之間應有盡可能低的界面能，以防止在退模過程中因聚合物與模板之間發(fā)生粘連影響壓印質量用然可以通過選擇合適的材料滿足這樣的要求。因此更多的是采用在模板上修飾抗粘層的辦法。目前主要有以下方法在模板上制備抗粘層。
硅烷涂膠機主要用于納米壓印光刻（NIL）應用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠；以及功率半導體,LED,MEMS,半導體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
全氟辛基三氯硅烷涂膠機，抗粘劑PFTS真空烘箱的技術性能：
容量：1-12寸均可，300*300*300,450*450*450，600*600*600（mm）
硅烷添加劑：1-2種
內箱體材質：316L不銹鋼
氣體輸入：1個（氮氣）
工作溫度范圍：80-200/300°C
腔室壓力控制：1tor~100tor
硅烷添加量：2 – 100mL
工藝選擇：可同時設定5個工藝
正常運行時間：> 95％
涂膠原理：氣相沉積法
真空泵：干泵
電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ ， 3.5KW
控制方式：人機交互+PLC智能操作
操作方式：一鍵運行/手動操作
在納米壓印工藝中，要求作為壓印膠的聚合物和基底材料之間能有較強的附著能力，這樣才能保證在退模過程中不會與基底脫離而導致結構被破壞;同時聚合物和模板之間應有盡可能低的界面能，以防止在退模過程中因聚合物與模板之間發(fā)生粘連影響壓印質量用然可以通過選擇合適的材料滿足這樣的要求。因此更多的是采用在模板上修飾抗粘層的辦法。目前主要有以下方法在模板上制備抗粘層。
硅烷涂膠機主要用于納米壓印光刻（NIL）應用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠；以及功率半導體,LED,MEMS,半導體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
全氟辛基三氯硅烷涂膠機，抗粘劑PFTS真空烘箱的技術性能：
容量：1-12寸均可，300*300*300,450*450*450，600*600*600（mm）
硅烷添加劑：1-2種
內箱體材質：316L不銹鋼
氣體輸入：1個（氮氣）
工作溫度范圍：80-200/300°C
腔室壓力控制：1tor~100tor
硅烷添加量：2 – 100mL
工藝選擇：可同時設定5個工藝
正常運行時間：> 95％
涂膠原理：氣相沉積法
真空泵：干泵
電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ ， 3.5KW
控制方式：人機交互+PLC智能操作
操作方式：一鍵運行/手動操作
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