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做到極致認真
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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外延片烘箱，氮氣潔凈烘箱
發布時間: 2023-10-13 14:33
外延片烘箱，氮氣潔凈烘箱作用
氮化鎵外延片工藝是一種用于制備氮化鎵外延片的工藝，主要包括表面清洗、氮化處理、清洗處理、干燥處理和檢測處理等步驟。干燥處理是將清洗后的外延片放入烘箱中，進行干燥處理，以去除清洗液中的水分。將所述外延片放入烘箱中,在120℃～140℃的溫度下,將所述外延片烘烤10～30分鐘。
氮氣是惰性氣體，不易與其他物質發生反應。在日常生產生活中，氮氣常作為氣源，且不與需要氣源的電器和氣動元器件產生氧化和腐蝕，既可杜絕細菌和噬菌體在元器件中滋生和污染，也可延長電器元器件和氣動元器件使用壽命。氮氣廣泛存在與大氣中，干燥潔凈且不含水，不含油，因此常作為干燥氣體使用。
目前常用的外延片生產用氮氣干燥箱通常將送入的氣體通過過濾網過濾分散后送入干燥箱箱體內部，進而對需要干燥的物體進行干燥。
外延片烘箱，氮氣潔凈烘箱性能要求：
溫度范圍：RT～200/300℃；
溫度均勻度：±1.5%℃;
溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作尺寸（mm）：
450×450×450
500×500×500
600×700×800（可定制）
網板：2-4個
可擴展功能：
氧濃度檢測，無塵無氧烘箱
智能聯網功能，MES等工業自動化軟件
掃碼槍，掃碼溯源，一鍵讀取
自動門控，上位機程控，機械手搬運產品
