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態
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個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵
發布時間: 2023-12-13 10:54
HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵
真空干泵具有 靜音<50dBA)和低振動運行的，
密封設計(真空區與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內氣體環路;從而消除了油或油脂帶來的污染風險。
極限壓力：1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)
最大入口壓力：1.0 個大氣壓(0 psig)
冷卻 方式：風冷
泵凈重: 34 q (75 bs);含包裝: 45 kg(100bs)
尺寸 (高x寬x長(mm))：364x 333x 485
泄漏速度(密封排氣口時)：< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)
HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵用途
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內加熱到一 定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合，使這樣的襯底表面具有疏水性。從而增強光刻與襯底表面的粘附性。
HMDS烘箱性能
溫度范圍：RT+10-250℃
真空度：≤1torr
控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡單，方便
HMDS工藝：蒸汽氣相涂布
安全檢測：超溫保護，HMDS泄漏檢測提示
儲液瓶：HMDS儲液瓶
真空泵：無油渦旋真空泵
工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
